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加工線寬：＞1000 nm

單結構成型尺寸：＜500 μm x 500 μm x 2000 μm

最大加工尺寸：1000 mm x 1000 mm

最大加工高度：300 mm

重復定位精度：＞500 nm

線性速度：＜1000 mm/s

設備額定功率：3.6 kW

表面平滑度Ra：＜100 nm

自動界面跟蹤誤差：＜100 nm

自動對焦誤差：＜100 nm

自動調平分辨率：＜±50 urad

恒溫控制精度：＜±0.5 ℃

并行加工的點陣數目：＞400 個

擴展特性：2.5維衍射光學元件高速算法加工、平面圖案一次成型、大幅面自動成像、10軸飛行聯動。