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加工線寬：＞70 nm

單結構成型尺寸：＜300 μm x 300 μm x 300 μm

最大加工尺寸：150 mm x 150 mm

最大加工高度：2.5 mm

重復定位精度：＜10 nm

線性速度：＜200 mm/s

設備額定功率：1.2 kW

表面平滑度Ra：＜10 nm

自動界面跟蹤誤差：＜50 nm

自動對焦誤差：＜20 nm

自動調平分辨率：＜±10 urad

恒溫控制精度：＜±0.2 ℃

并行加工的點陣數目：＞100 個

擴展特性：2.5維衍射光學元件高速算法加工、平面圖案一次成型、大幅面自動成像、10軸飛行聯動。