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產品優勢

機械優勢

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  • 【水冷溫控系統】   

    水冷換熱,通過調控水溫和風速可實現精確溫控,既能及時置換掉設備內部產生的熱量,又能保證設備內部溫度恒定,從而保證了設備的加工精度和穩定性;通過風量調節可實現設備內部為正壓環境,避免了灰塵和雜質進入設備內部。

    【封閉式光路】

    光路和成像系統采用整體封閉的模式,內部光路采用不銹鋼雙重鎖緊器件搭建,將溫度波動、設備振動、粉塵等對設備的影響降到最低,從而實現復雜工業環境下的使用,設備整體壽命也得到了提高。

  • 【多重避振系統 】  

    設備為屏蔽來自外界的多方位振動,組合采用了氣浮隔振、橡膠減振、物理隔離等多種避振方式,可以很好的屏蔽掉來自地面的振動,屏蔽掉設備本身運行產生的振動,屏蔽掉人為誤操作導致的振動。

    【自動控制系統】

    通過集成的PLC控制器,可以在觸摸屏上無級調節平臺LED亮度,滿足調光需求;調節載物平臺平衡度,精確校準載物平臺的水平度;無級調節滴膠速度,滿足工業化生產的需求。

材料優勢

  • 【適用于三維微納制造的光敏材料產品特點】

    分辨率高,最小特征尺寸可達70nm;

    響應速度快,適合高速微納級加工制造;

    粘接性優異,適用于金屬、玻璃、硅片等各種基材;

    力學性能佳,機械性能優異,適合三維立體結構的加工制造;

    綠色環保,不含揮發性溶劑,無需前處理,操作簡單;

    匹配度高,與我司光刻設備和系統完美匹配。

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軟件優勢

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    【操作環境】

    由高分辨率工業相機及其光路搭建的成像系統,能夠實時觀察樣品制作情況;靈活的操作方式,能夠方便的實現位置的粗調、精調以及樣品的局部觀察。

    一體化的軟件設計可以實現對整臺設備的完全控制,配合獨有的領域語言和路徑轉換算法,能夠輕松上手設備使用。

  • 【路徑模擬器】

    樣本制作的過程會在路徑模擬器上實時預覽,可以觀察樣品的三維結構以及成型過程。

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    【高精度自動對準、定位】

    通過獨創圖像識別算法,實現對特定目標的檢測,可以輕松實現自動定位、對接等操作。

  • 【領域專用語言】

    獨有的領域專用語言,使用簡單的幾條語句完成對任務編排與控制。支持函數、循環、判斷、數組、變量等常見語言特性。使得三維光刻過程自動化、簡單化、高效化,從而完成高復雜度的結構制作。適用于工業領域中大量重復結構的制作以及科研領域中參數漸變性試驗。

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